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创新工艺，持续量产

杏彩游戏 新材料技术12腔300mm Ultron单支SPM湿法生产设备

单支温度高SPM技艺具体用在Etch时IMP以后的设计物清洁工作，基本原则是把晶圆外层的体现后的残留物的光刻胶汇聚物消除乾净。单支SPM技艺用途穿梭正个高级半导体器件的前、中段技艺，清洁工作技艺两次少于30道，是一切湿法技艺中用途顶多的某种装备。除此以外SPM技艺被具有广泛性用途在浅槽分隔（STI）、排斥孔刻蚀后（CT）等玄之又玄宽构成，时鳍式尖晶石管（FinFET） 、电容器（capacitor）等高强度简化形状位置，故SPM 技艺被迄今为止是28/14nm性能指标请求高达的技艺，也是最具终极挑战的湿法技艺装备。在杏彩游戏 技术的单支SPM收获冲刺以后，一切的单支SPM装备任何由国际服务商所龚断。除此以外65nm及上物品由于技艺请求而动用单支替代品槽式装备，造化工品始终无法 收购 动用，这样单台单支SPM装备年都要花费千余万加元的化工品，这对的客户的制造费时坏境均是挺大的负税；杏彩游戏 制作氢氧化钠钠收购 程序与单支SPM装备达配动用，高达不错建立80%上的氢氧化钠钠收购 ，单台年能为高达合理节省150~180万美金的氢氧化钠钠费，时降底移动用户对危险废弃物尾气排放的重压。

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