电子光学超纯水解决方案 电子光学元器件制造概述 随着信息时代的到来，作为电子工业的核心—超大规模集成电路有着巨大的市场需求。在集成电路生产的几百道工序中，其80%以上需高纯水清洗。水中的各种超微量杂质都会对产品产生重要影响。因此，VLSI和 ULSI对水质的要求成为高纯水水质的极至。电子工业中其他部门对纯水……