1、原水罐：原水罐用于储存原水，减小水压不稳定对超纯水设备水系统造成的冲击，同时用于沉淀地下水中的大泥沙颗粒及其它可沉淀物质。超纯水设备

2、原水泵：恒定系统供水压力，稳定供水量。

3、多介质过滤器：除去原水中颗粒在20um以上的杂质，可选用手动阀门控制或者全自动控制器进行正、反冲洗等一系列操作，确认超纯水设备水产水质量，增加使用寿命。
4、活性炭过滤器：电解质离子，还可进行离子交换吸附。起到催化作用、除去水中的异味、色素、生化有机物等，减少水的余氯值及农药污染物。
5、软水装置/添加阻垢剂装置：溶解固体形物的浓缩排放和淡水，为制止膜特性受损，在进入超纯水设备膜组件之前，应使用软水装置，或投放适量的阻垢剂阻止碳酸盐、SiO2、硫酸盐的晶体析出，制止超纯水设水的结垢污染。
6、精密过滤器：截留原水中的大于5微米的颗粒，减少超纯水设备膜被大颗粒划伤，确认超纯水设备水稳定的运行。

7、超纯水设备/RO装置：用压力，使水通过超纯水设备膜分离出来，脱盐率高，回收率高，运行稳定，在除盐的同时，也将大部分大分子量、细菌及胶体的有机物除去。

8、臭氧杀菌器/紫外线杀菌器：杀灭由二次污染产生的确认成品水的卫生指标。

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